摘要:本发明公开了一种调制式激光干涉空气折射率测量方法及装置。双频激光器输出波长为和的正交线偏振光,射向由分光镜、参考角锥棱镜和测量角锥棱镜构成的迈克尔逊干涉仪,形成各自的干涉信号,再经分光镜、偏振分光镜分光后,由两个探测器接收;石英真空腔放置在测量光路中与光线传播方向平行,通过移动参考角锥棱镜检测和的干涉信号的相位差变化2π测得合成波长,通过移动压电陶瓷驱动器调制测量角锥棱镜运动,测得石英真空腔被抽成真空和通入空气时和干涉信号的相位差和,根据真空腔长度、合成波长和相位差变化量,可测得空气折射率n。本发明测量精度达到10-9以上,抗环境干扰能力强等优点,可应用于精密测量和激光干涉仪等技术领域。
专利号:ZL201310004167.0
授权公告日:2015年1月14日
专利类型:发明专利
发明人: 严利平 陈本永 刘燕娜 董文钧