摘要：本发明公开了一种局部磁场可调式微驱动器。包括由二维永磁体阵列和背铁组成的定子以及在绝缘体上下表面铺设有沿X、Y轴方向交错排列的电枢的动子，定子和动子之间具有气隙；二维永磁体阵列为整体成矩形“十”字型N、S主磁极呈交错分布的永磁体阵列，相邻的N主磁极或相邻的S主磁极间用非导磁块相隔；沿X、Y轴方向交错排列的电枢是由平行排列的X轴方向导线组和Y轴方向导线组构成。本发明结构简单，制作方便，导线式电枢结构使得局部磁场和电磁力调节更为灵活，在实现对悬浮力和水平推力解耦控制的同时，具有响应迅速，驱动范围广等优点，本发明可利用于微型机器人，光刻机或微电子封装设备等需要精密驱动和操作的场合。
专利号：ZL201210112415.9
授权公告日：2014年10月15日
专利类型：发明专利
发明人：郭亮、陈本永、丁浩、王吟、张钊